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超純水制備的幾種工藝比較(圖文)

  中天恒遠反滲透官網(wǎng)小編李德馨給您詳細的介紹——超純水制備的幾種工藝比較,希望對廣大用戶朋友有所幫助。

  一,電子工業(yè)用超純水設(shè)備介紹

  半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。

超純水制備的幾種工藝比較(圖文)

  二,電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種:

  1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

  2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

  3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的比較新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に,其基本工藝流程為:原?rarr;沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

  三,3種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較 :

  目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進行不同組合搭配衍生而來。現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面:

  1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。

  2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設(shè)備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。

  3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水比較經(jīng)濟,比較環(huán)保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。


(責(zé)任編輯:李德馨)
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